Q. 吸着用の微細な角穴と、エアー配管接続用のタップ穴(ねじ穴)が内部で複雑に連結するような吸着ステージの製作は依頼できますか?
はい、複雑な内部流路や交差穴を持つ吸着ステージの製作も対応可能です。
過去の事例として、SKD11製の吸着ステージにおいて、表面に0.5mmの角穴(深さ5mm)を放電加工で形成し、側面から加工したM3のねじ穴(深さ13.5mmの下穴)と内部で正確に連結させる特殊構造を高精度に実現した実績がございます。工程順序の最適化により、熱処理後の歪みを防ぎつつ、全体で寸法公差±0.01mmを満たす確実な真空吸着経路を構築し、お客様の装置の仕様に合わせた完全オーダーメイドの吸着ステージをご提供します
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