加工事例

SUS440C製 ワークホルダーのバフ仕上げ事例

半導体・精密機器の製造装置内でワークを保持する「ワークホルダー」の製作事例です。材質は焼入れ処理を施したSUS440C、外形寸法は40×25×8mm、加工精度は±0.01mmで仕上げています。ワークと直接触れる部品であるため、寸法精度だけでなく「表面の仕上がり品質」が製品の良否を左右する一品でした。

【課題】
焼入れ後の高硬度材であるため、切削・仕上げともに難易度が高い
段差・凹形状があり、平面研磨でアプローチできない面が存在する
ワーク接触部にキズやバリが残ると、保持するワーク側を傷付けてしまう

【当社の対応・技術ポイント】
1. マシニング段階から仕上げ面を作り込む
バフ・ラップ仕上げは「粗い面をきれいにする工程」ではありません。前工程の面が粗いままでは、加工痕を取り切ることができないためです。当社では最終的な仕上がりから逆算し、マシニング加工の時点で精度と面粗さを作り込んでいます。

2. 研磨できない形状はエアロラップで対応
形状の制約から研磨盤をかけられない面についても、エアロラップ加工により形状に沿った均一な仕上げを実現しました。ホルダーという用途上、バフ品質そのものが機能に直結するため、全面にわたって安定した面品質を確保しています。

3. ワーク接触部のエッジは意図的に「ダレ」させる
エッジが立ったままではワークにキズが入るため、接触部となるエッジには微小なダレを付けています。図面指示だけでは表現しきれない、用途を理解したうえでの仕上げ調整です。